[미디어펜=조한진 기자] 일본이 한국에 대한 '무역보복'을 실시한 뒤 처음으로 고순도 불화수소(에칭가스) 수출을 허가했다.

30일 산업통상자원부 등에 따르면 전날 일본이 불화수소 가스 수출 한건을 허가한 사실이 확인됐다.

   
▲ 삼성전자 직원이 반도체 라인에서 제품을 검사하고 있다. /사진=삼성전자 제공

수출이 제한된 반도체·디스플레이 핵심 소재 3개 품목 가운데 포토레지스트(감광액) 수출은 일본이 두차례 허가했지만, 불화수소는 처음이다.

수출 허가 신청은 일본이 수출 규제에 들어간 지난달 4일 전후로 알려졌다. 이번 불화수소를 수입하는 기업은 삼성전자로 전해졌다.

불화수소는 반도체 제조 공정에서 회로를 새길 때 사용하는 필수 소재다.
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