[미디어펜=조한진 기자]이재용 삼성전자 부회장이 반도체 장비 확보 협의를 위해 네덜란드로 향한다. 이 부회장은 현지에서 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 확보를 추진할 것으로 전망된다.

2일 재계와 법조계에 따르면 서울중앙지법 형사합의25-2부는 삼성물산 합병 및 삼성바이오로직스 회계 의혹에 관한 공판기일에서 이 부회장의 출장 기간 공판 불출석을 허가했다.

재판부는 “이 부회장이 7일부터 18일까지 출장 일정이 있다”며 “네덜란드에서 포토 공정 장비 기기 협의가 있다고 한다”고 설명했다. 이 부회장이 글로벌 경영을 재개하는 것은 지난해 12월 중동출장 이후 6개월여 만이다.

이번에 이 부회장은 네덜란드 에인트호번으로 날아가 반도체 장비기업 ASML을 찾을 것으로 예상된다. 이 곳에서 이 부회장은 피터 버닝크 ASML 최고경영자(CEO) 등과 비즈니스 회동을 하고, 미래 반도체 협력 방안을 논의할 것으로 보인다.

특히 이 부회장은 ASML의 EUV 노광장비 확보에 집중할 것으로 전망된다. ASML은 세계 최고 수준의 EUV 장비 제조기술을 보유한 기업이다. EUV 노광장비를 생산하는 기업도 ASML 뿐이다.

EUV 노광장비는 미세화 공정에 집중하고 있는 삼성전자의 파운드리와 메모리 사업에 필수적이다. 최근 차세대 반도체 경쟁이 심화화면서 ASML의 노광장비는 공급이 수요를 따라가지 못하는 상황이다.

EUV 노광 기술은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 세밀한 반도체 회로를 새기는 기술이다. 이 때문에 AI·5세대(5G) 이동통신·자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는데 필수적이다.

이 부회장은 지난 2020년 10월에도 ASML 본사를 찾아 버닝크 CEO 등과 협력 방안을 논의 한 바 있다.

당시 이 부회장은 △7나노 이하 최첨단 반도체 생산에 필수적인 EUV 장비 공급계획 및 운영 기술 고도화 방안 △인공지능(AI) 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발협력 △코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망 및 포스트 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등을 공유했다.

이 부회장은 ASML 경영진과 우호적인 관계를 이어오고 있다. 앞서 지난 2016년 11월에 삼성전자를 방문한 버닝크 CEO 등 ASML 경영진을 만나 차세대 반도체 미세 공정 기술에 관한 협력 방안을 논의했고, 2019년 2월에도 프랑스 파리에서 반도체 산업에 대한 의견을 나눴다.

삼성전자는 차세대 반도체 구현을 위해 EUV 기술이 필요하다는 판단 아래 2000년대부터 ASML과 초미세 반도체 공정 기술 및 장비 개발을 위해 협력하고 있다. 2012년에는 ASML에 대한 전략적 지분 투자를 통해 파트너십을 강화했다.